Mechanical Property of Gold Micro-Cantilevers for Application in Microelectronics and the Sample Geometry Effect
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复制标题
微电子学应用金微悬臂梁的力学性能及样品几何效应
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masato Sone
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuya Fujita ; Kosuke Suzuki ; Chun-Yi Chen ; Tso-Fu Mark Chang ; Daisuke Yamane ; Hiroyuki Ito ; Katsuyuki Machida ; Kazuya Masu ; Masato Sone
