数値制御プラズマCVM によるヨハンソン型Si(111)二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工(第3報)-形状創成加工後の表面粗さの低減-
数値制御プラズマCVM によるヨハンソン型Si(111)二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工(第3報)-形状創成加工後の表面粗さの低減-
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使用数控等离子体 CVM 对 Johansson 型 Si(111) 双曲光谱晶体进行无损伤加工（第 3 次报告） - 形状创建加工后表面粗糙度的降低 -
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
谷口一雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
細田真央;植田和晃;是津信行;山村和也,島田尚一;谷口一雄
