ガラスナノインプリント技術(微細化の限界)

ガラスナノインプリント技術(微細化の限界)
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玻璃纳米压印技术(小型化的极限)

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
西井 準治
西井 準治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
木下 拓也;宮崎 篤;藤岡 正弥;海住 英生;西井 準治;山口 拓哉;小俣 孝久;西井 準治

文献摘要

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