M.Tanaka: "Multi-Plate Microwave Launcher for Producing High Density ECR Plasmas" Proc.2nd Int.Conf.on Reactive Plasmas and 11th Symposium on Plasma Processing. 343-346 (1994)
M.Tanaka: "Multi-Plate Microwave Launcher for Producing High Density ECR Plasmas" Proc.2nd Int.Conf.on Reactive Plasmas and 11th Symposium on Plasma Processing. 343-346 (1994)
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M.Tanaka：“用于生产高密度 ECR 等离子体的多板微波发射器”Proc.2nd Int.Conf.on Reactive Plasmas 和第 11 届等离子体处理研讨会。
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