ナノビームX線回折法を用いた半導体結晶の深さ分解結晶構造解析
ナノビームX線回折法を用いた半導体結晶の深さ分解結晶構造解析
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利用纳米束 X 射线衍射法对半导体晶体进行深度分辨晶体结构分析
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
酒井朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
志田和己;藤平哲也;Andreas Schulze;Matty Caymax;三宅秀人;平松和政;隅谷和嗣;今井康彦;木村滋;酒井朗
