Low-Pressure Micro Plasma Generation using Microwave in a Magnetic Field,

Low-Pressure Micro Plasma Generation using Microwave in a Magnetic Field,
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在磁场中使用微波产生低压微等离子体，

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proc.5th Asian-European Int.Conf.on Plasma Surface Engineering
影响因子：
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通讯作者：
H.Fujiyama
H.Fujiyama
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y.Furue;D.Kurogi;H.Inoue;H.Fujiyama

文献摘要

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