Stochastic effects in chemically amplified resists
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复制标题
化学放大抗蚀剂中的随机效应
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Kozawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kishimoto;T. Mitsui;R. Haruki;Y. Yoda;S. Shimazaki;M. Saito;M. Ikeno;and M. Tanaka;長嶋 智典，勝俣 洋典，浜屋 宏平，宮尾 正信，澤野 憲太郎;T. Kozawa
