膜厚を統一したCrN薄膜の残留応力とドロップレット密度の関係
膜厚を統一したCrN薄膜の残留応力とドロップレット密度の関係
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均匀厚度CrN薄膜残余应力与熔滴密度的关系
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
日下一也 ，川崎森生，坂崎拓海，米倉大介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
尾崎奈保;牛 立斌;吉田正樹;末武佑介;丸亀和雄;日下一也 ，川崎森生，坂崎拓海，米倉大介
