ステップ高さ制御SiC基板上AlN層の高分解能X線回折評価における界面局在ミスフィット転位に起因する横方向サテライトピーク
ステップ高さ制御SiC基板上AlN層の高分解能X線回折評価における界面局在ミスフィット転位に起因する横方向サテライトピーク
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阶梯高度控制的 SiC 衬底上的 AlN 层的高分辨率 X 射线衍射评估中由于界面局部失配位错而产生的横向卫星峰
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
須田淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金子光顕;木本恒暢;須田淳
