電気化学機械研磨によるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第7報）－多孔質材料を用いたSiC表面の局部陽極酸化に関する検討－
電気化学機械研磨によるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第7報）－多孔質材料を用いたSiC表面の局部陽極酸化に関する検討－
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利用电化学机械抛光开发 SiC 高效无浆加工方法（第七次报告） - 利用多孔材料对 SiC 表面进行局部阳极氧化的研究 -
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
楊旭，楊暁喆（Xiaozhe Yang），川合健太郎，有馬健太，山村和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
楊旭，楊暁喆（Xiaozhe Yang），川合健太郎，有馬健太，山村和也
