超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発(位置決め制御による特性向上)
超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発(位置決め制御による特性向上)
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开发用于超精密定位的气动伺服轴承执行器（通过定位控制提高特性）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐々木勝美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
角谷雅人;北川貴一;平山朋子;松岡敬;佐々木勝美
