MEMS機能デバイスによるナノ厚金薄膜の力学特性評価に関する研究
MEMS機能デバイスによるナノ厚金薄膜の力学特性評価に関する研究
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利用MEMS功能器件评价纳米厚金薄膜力学性能的研究
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
磯野吉正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
呉衒珍;磯野吉正
