Sensor fabrication using thin film-on-silicon approaches
Sensor fabrication using thin film-on-silicon approaches
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使用硅薄膜方法制造传感器
DOI：
10.1016/s0040-6090(96)09338-8
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
C. Wagner
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Müller;P. Deimel;W. Hellmich;C. Wagner
