M.Kurihara: "RF plasma characteristics in a micro-cell in Xe by using RCT model" Extended abstracts in 4^<th> Int.Cont.on Reactive Plasmas. 39-40 (1998)

M.Kurihara: "RF plasma characteristics in a micro-cell in Xe by using RCT model" Extended abstracts in 4^<th> Int.Cont.on Reactive Plasmas. 39-40 (1998)
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M.Kurihara:“使用 RCT 模型在 Xe 中的微电池中实现 RF 等离子体特性”第 4 期 Int.Cont.on Reactive Plasmas 中的扩展摘要。

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