Bridge and van der Pauw Sheet Resistors for Characterizing the Line Width of Conducting Layers
Bridge and van der Pauw Sheet Resistors for Characterizing the Line Width of Conducting Layers
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用于表征导电层线宽的桥式电阻器和范德堡片式电阻器
DOI：
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发表时间：
1978
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
W. R. Thurber
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Buehler;S. D. Grant;W. R. Thurber
