コンタクトエピタキシャル法を用いたCe:YIG膜形成のためのSi導波路製作プロセスの検討

コンタクトエピタキシャル法を用いたCe:YIG膜形成のためのSi導波路製作プロセスの検討
复制标题

接触外延法形成Ce:YIG薄膜硅波导工艺研究

DOI:
--
复制
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
水本 哲弥
水本 哲弥
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
飯島 夏来;清藤 将人;武田 正行;中津原 克己;野毛 悟;水本 哲弥

文献摘要

相似文献