超音波振動子を用いたギガサイクル繰返し押付け試験機によるDLC膜の損傷評価 -損傷形態に及ぼす成膜条件の影響-
超音波振動子を用いたギガサイクル繰返し押付け試験機によるDLC膜の損傷評価 -損傷形態に及ぼす成膜条件の影響-
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使用超声波振动器的十周循环压力试验机评价DLC膜的损伤 -成膜条件对损伤形式的影响-
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山元拓真，中村守正，松岡敬，三浦健一，小畠淳平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
斎藤千夏，田浦裕生，柳澤憲史，黒岩岳大;山元拓真，中村守正，松岡敬，三浦健一，小畠淳平
