I.Kusunoki, T.Takaoka, Y.Igari and K.Ohtsuka: "Nitridation of a Si (100) surface by 100-1000 eV N_2^+ ion beams." J.Chem. Phys.101. 8238-8245 (1994)
I.Kusunoki, T.Takaoka, Y.Igari and K.Ohtsuka: "Nitridation of a Si (100) surface by 100-1000 eV N_2^+ ion beams." J.Chem. Phys.101. 8238-8245 (1994)
复制标题
I.Kusunoki、T.Takaoka、Y.Igari 和 K.Ohtsuka：“100-1000 eV N_2^ 离子束对 Si (100) 表面进行氮化。”
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
