エリプソメトリー顕微鏡による潤滑分子膜の膜厚分布定量観測

エリプソメトリー顕微鏡による潤滑分子膜の膜厚分布定量観測
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椭圆偏振显微镜定量观察润滑分子膜膜厚分布

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
日本機械学会論文集(C編) 70・700
影响因子:
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通讯作者:
三矢保永
三矢保永
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
福澤健二;志牟田太一;中田旭;張賀東;三矢保永

文献摘要

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