ポリマー支援ゾルゲル法と超臨界乾燥によるSiCへのHfO_2およびZrO_2コーティング
ポリマー支援ゾルゲル法と超臨界乾燥によるSiCへのHfO_2およびZrO_2コーティング
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聚合物辅助溶胶-凝胶法及超临界干燥在SiC上涂覆HfO_2和ZrO_2
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松嶋景一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
明石孝也;中村航平;勝山陽介;松嶋景一郎
