オゾンとシリコーンオイルを用いた酸化Si薄膜堆積におけるH_2O_2溶液バブリングの効果
オゾンとシリコーンオイルを用いた酸化Si薄膜堆積におけるH_2O_2溶液バブリングの効果
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H_2O_2溶液鼓泡对臭氧和硅油沉积氧化硅薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
堀田將
中科院分区：
文献类型：
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作者：
谷口勇太;辻埜太一;堀田將
