高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
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使用噪声振动的随机 MEMS 传感器，适用于高温环境
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
畠山庸平;江刺正喜;田中秀治
