金属援用終端法によるダイヤモンド高濃度ホウ素ドープ基板のキラー欠陥低減

金属援用終端法によるダイヤモンド高濃度ホウ素ドープ基板のキラー欠陥低減
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使用金属辅助终止方法减少富金刚石硼掺杂基板中的致命缺陷

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小林篤史,大曲新矢,梅沢仁,齊藤丈靖,竹内大輔
小林篤史,大曲新矢,梅沢仁,齊藤丈靖,竹内大輔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kawaguchi Tomoya;Rao Reshma R.;Lunger Jaclyn R.;Liu Yihua;Walko Donald;Karapetrova Evguenia A.;Komanicky Vladimir;Shao-Horn Yang;You Hoydoo;小林篤史,大曲新矢,梅沢仁,齊藤丈靖,竹内大輔

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