金属援用終端法によるダイヤモンド高濃度ホウ素ドープ基板のキラー欠陥低減
金属援用終端法によるダイヤモンド高濃度ホウ素ドープ基板のキラー欠陥低減
复制标题
使用金属辅助终止方法减少富金刚石硼掺杂基板中的致命缺陷
DOI:
--
复制
发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
小林篤史,大曲新矢,梅沢仁,齊藤丈靖,竹内大輔
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Kawaguchi Tomoya;Rao Reshma R.;Lunger Jaclyn R.;Liu Yihua;Walko Donald;Karapetrova Evguenia A.;Komanicky Vladimir;Shao-Horn Yang;You Hoydoo;小林篤史,大曲新矢,梅沢仁,齊藤丈靖,竹内大輔