自励発振式浮揚装置を用いた超音波浮揚による微小物体の非接触コーティング

自励発振式浮揚装置を用いた超音波浮揚による微小物体の非接触コーティング
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使用自振荡悬浮装置通过超声波悬浮对微型物体进行非接触式涂覆

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中村健太郎
中村健太郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
酒井芳将;長谷部和彦;田中宏樹;水野洋輔;中村健太郎

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