A new method to prepare minimum-mass tin EUV targets
A new method to prepare minimum-mass tin EUV targets
复制标题
一种制备最小质量锡 EUV 靶材的新方法
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Y Izawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L Ge;K Nagai;T Norimatsu;H Nishimura;H Nishihara;S Fujioka;N Miyanaga;K Mima;and Y Izawa
