Li Li, Takashi Abe, Masayoshi Esashi: "Smooth surface glass etching by deep reactive ion etching with SF_6 and Xe gases"Journal of Vacuum Science and Technology B. 21. 2545-2549 (2003)
Li Li, Takashi Abe, Masayoshi Esashi: "Smooth surface glass etching by deep reactive ion etching with SF_6 and Xe gases"Journal of Vacuum Science and Technology B. 21. 2545-2549 (2003)
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李力，Takashi Abe，Masayoshi Esashi：“用SF_6和Xe气体进行深反应离子蚀刻的光滑表面玻璃蚀刻”真空科学与技术杂志B.21.2545-2549（2003）
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