The microstructure and X-ray reflectivity of Mo/Si multilayers
The microstructure and X-ray reflectivity of Mo/Si multilayers
复制标题
Mo/Si多层膜的微观结构和X射线反射率
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Zuev
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Andreev;S. V. Gaponov;S. A. Gusev;M. Haidl;E. Kluenkov;K. Prokhorov;N. Polushkin;E. N. Sadova;N. Salashchenko;L. Suslov;S. Zuev
