Direct measurement of a thrust induced by sputtered materials in magnetron-type plasma sources
Direct measurement of a thrust induced by sputtered materials in magnetron-type plasma sources
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直接测量磁控管型等离子体源中溅射材料引起的推力
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ando Akira
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hidemasa Miura;Kazunori Takahashi;Ando Akira
