Hideki Matsumura,Youichi Hosoda,Seijiro Furukawa: "Properties and Production Mechanism of Low-Temperature Deposited Cat-CVD Poly-Silicon." Mat.Res.Symp.Proc.,Boston,Dec.,1992. (1993)
Hideki Matsumura,Youichi Hosoda,Seijiro Furukawa: "Properties and Production Mechanism of Low-Temperature Deposited Cat-CVD Poly-Silicon." Mat.Res.Symp.Proc.,Boston,Dec.,1992. (1993)
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Hideki Matsumura、Youichi Hosoda、Seijiro Furukawa：“低温沉积 Cat-CVD 多晶硅的性能和生产机制”。
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