せん断力検出型マイクロプローブによるマイクロ構造の精密寸法計測
せん断力検出型マイクロプローブによるマイクロ構造の精密寸法計測
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使用剪切力检测微探针精确测量微观结构的尺寸
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊東聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yusuke Shima;So Ito;Kazuhide Kamiya;Kimihisa Matsumoto;Y. Arai and S. Sakata;堤大輔，島由丞，伊東聡，神谷和秀，松本公久，川堰宣隆;小川貴大，坂田誠一郎;伊東聡;陳日飛，坂田誠一郎;伊東聡，神谷和秀，松本公久，高偉;酒本拓朗，坂田誠一郎;伊東聡
