A Basic Study on CMP Mechanism and a Trial to produce CMP Slurry by Sol-gel Method

A Basic Study on CMP Mechanism and a Trial to produce CMP Slurry by Sol-gel Method
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CMP机理的基础研究及溶胶-凝胶法制备CMP浆料的尝试

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Advances in Abrasive Technology-7^<th> International Symposium in Abrasive
影响因子：
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通讯作者：
A.Oda
A.Oda
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
J.SHIBATA;M.OHTA;A.Oda

文献摘要

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