Analysis of Internal Modified-Layer Formation Mechanism in Stealth Dicing
Analysis of Internal Modified-Layer Formation Mechanism in Stealth Dicing
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隐形切割内部改性层形成机理分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E.Ohmura et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Etsuji Ohmura;Kazufumi Nomura;Takeshi Monodane;Masayoshi Kumagai;Etsuji Ohmura;植木章太;大村悦二;大村悦二;大村悦二;大村悦二;大村悦二;宮本 勇;K.Nomura et al.;T.Sano et al.;J.Shimizu et al.;E.Ohmura et al.;K.Yamamoto et al.;K.Nomura et al.;K.Nomura et al.;E.Ohmura et al.;K.Nomura et al.;E.Ohmura et al.;M.Kumagai et al.;S.Ueki et al.;E.Ohmura et al.
