赤外フェムト秒レーザーを用いたSi基板の3次元選択加工における空間光位相変調器による収差補正の効果とSi基板裏面に形成されたLIPSS
赤外フェムト秒レーザーを用いたSi基板の3次元選択加工における空間光位相変調器による収差補正の効果とSi基板裏面に形成されたLIPSS
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使用红外飞秒激光和在硅衬底背面形成的LIPSS对硅衬底进行3D选择性加工时，空间光相位调制器的像差校正效果
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
片岡大熙・Chiah Sin Ying・伊藤義郎・田辺里枝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Khanh Phu LUONG;Rie TANABE;Yoshiro ITO;片岡大熙・Chiah Sin Ying・伊藤義郎・田辺里枝
