Hierarchal Decomposition for theStructure-Fluid-Electrostatic Interaction in aMicroelectromechanical System
Hierarchal Decomposition for theStructure-Fluid-Electrostatic Interaction in aMicroelectromechanical System
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微机电系统中结构-流体-静电相互作用的层次分解
DOI：
10.3970/cmes.2015.108.429
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发表时间：
2015
影响因子：
2.4
通讯作者：
A. Baba
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Ishihara;T. Horie;T. Niho;A. Baba
