沉积温度对化学气相沉积铼涂层性能的影响
沉积温度对化学气相沉积铼涂层性能的影响
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DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
魏燕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赵封林;胡昌义;郑旭;祁小红;蔡宏中;魏燕
