Phase control and electrical properties of undoped and nitrogen-doped nanodiamond films deposited from Ar-rich microwave plasmas

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富氩微波等离子体沉积的未掺杂和氮掺杂纳米金刚石薄膜的相控制和电性能

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proceedings of 18th International Symposium on Plasma Chemistry 27P-16(CD-ROM)
影响因子：
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通讯作者：
K. Teii
K. Teii
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T. Ikeda;K. Takeguchi;K. Teii

文献摘要

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