Direct-write microsphere photolithography of hierarchical infrared metasurfaces
Direct-write microsphere photolithography of hierarchical infrared metasurfaces
复制标题
分层红外超表面的直写微球光刻
DOI：
10.1364/ao.427705
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
Kinzel, Edward C.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhu, Chen;Qu, Chuang;Kinzel, Edward C.
