イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス
イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス
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离子辐照和横波模式压电器件对六角形薄膜的取向控制
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木内正人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柳谷隆彦;木内正人
