Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer
Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer
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使用 SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 缓冲层在 (111) Si 晶圆上外延生长 (100)/(001) PZT 基薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shuji Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeshi Hayasaka;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
