A Nano-Mechanical Resonator with 10nm Hafnium-Zirconium Oxide Ferroelectric Transducer
A Nano-Mechanical Resonator with 10nm Hafnium-Zirconium Oxide Ferroelectric Transducer
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具有 10nm 铪锆氧化物铁电换能器的纳米机械谐振器
DOI：
10.1109/iedm.2018.8614633
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tabrizian, R.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ghatge, M.;Walters, G.;Nishida, T.;Tabrizian, R.
