ClF3 中性クラスタービームによる斜めエッチング
ClF3 中性クラスタービームによる斜めエッチング
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ClF3 中性簇束倾斜蚀刻
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
214.瀬木 利夫,山本 洋揮,古澤 孝弘,吉野 裕,妹尾 武彦,小池 国彦,青木 学聡,松尾 二郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小槻 日出夫;池野 豪一;山田 幾也;八木 俊介;214.瀬木 利夫,山本 洋揮,古澤 孝弘,吉野 裕,妹尾 武彦,小池 国彦,青木 学聡,松尾 二郎
