Negative-ion implantation technique
Negative-ion implantation technique
复制标题
负离子注入技术
DOI：
10.1016/0168-583x(94)00444-7
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发表时间：
1995
影响因子：
1.3
通讯作者：
S. Sakai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Ishikawa;H. Tsuji;Yoshitaka Toyota;Y. Gotoh;K. Matsuda;M. Tanjyo;S. Sakai
