高速成膜によるBaSi2蒸着膜の構造・特性変化
高速成膜によるBaSi2蒸着膜の構造・特性変化
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高速成膜导致BaSi2沉积膜结构和性能的变化
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原 康祐
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Motoki Sato;Giuseppe Guidi;Takehiro Imura;Hiroshi Fujimoto;原 康祐
