Design and Fabrication of Mold for Wafer-level Nanoimprint Lithography
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复制标题
晶圆级纳米压印光刻模具的设计与制作
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣島洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋
