Maskless etching of microstructures using a scanning microplasma etcher-猫眼课题宝

DOI：

10.1016/j.tsf.2005.08.271

发表时间：

2006-05

期刊：

Thin Solid Films

影响因子：

2.1

通讯作者：

中科院分区：

材料科学3区

文献类型：

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作者：

Takuya Ideno;T. Ichiki