貝殻セラミックススラリーによるシリコンウェハの鏡面加工
貝殻セラミックススラリーによるシリコンウェハの鏡面加工
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使用壳陶瓷浆料对硅片进行镜面精加工
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村 等
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村等;若松義信;庄司克雄;中村 等
