FIB/EB複合リソグラフィーによるナノ光共振器の作製
FIB/EB複合リソグラフィーによるナノ光共振器の作製
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FIB/EB组合光刻技术制备纳米光学谐振腔
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
米谷 玲皇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉原 健太;割澤 伸一;米谷 玲皇
