伴野 達也: "小型質量分析計を用いたスパタリングプロセス中の粒子計測" 真空. 40・8. 671-674 (1997)
伴野 達也: "小型質量分析計を用いたスパタリングプロセス中の粒子計測" 真空. 40・8. 671-674 (1997)
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Tatsuya Banno：“使用小型质谱仪测量溅射过程中的粒子”真空40・8（1997）。
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