大気開放型プラズマCVMによるATカット水晶ウェハの厚み修正加工-加工精度に影響を及ぼす要因の考察-
大気開放型プラズマCVMによるATカット水晶ウェハの厚み修正加工-加工精度に影響を及ぼす要因の考察-
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使用露天等离子CVM进行AT切割晶体晶片的厚度校正加工 - 影响加工精度因素的考虑 -
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
森川徹也;他
