Fabrication and evaluation of high-order mode solid mounted resonators with polarity inverted GeAlN/AlN multilayered films
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极性反转 GeAlN/AlN 多层膜高阶模固体安装谐振器的制作和评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Kakio
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Sekimoto;M. Suzuki;and S. Kakio
